【阿斯麥:英特爾實現High NA EUV高數值孔徑光刻量產應用】7月15日,阿斯麥宣佈,英特爾代工已在Intel 18A工藝節點上,利用阿斯麥高數值孔徑極紫外光刻技術量產部分Intel Core Ultra Series 3處理器,成為全球首家實現High NA EUV邏輯芯片高產量出貨的企業。雙方表示,Intel 18A部分工藝層已完成High NA EUV雙重認證,產品良率已達到現有NXE EUV平台水平,並將繼續推進該技術在未來製程節點的應用。
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