路透舊金山7月14日 - 光刻機製造商ASML(阿斯麥/艾司摩爾)周二表示,英特爾 INTC.O已決定使用ASML的高端設備來生產其部分旗艦級Panther Lake筆記本電腦芯片,此舉將有助於英特爾更有效地積累該設備的應用經驗。
ASML表示,英特爾從2024年開始進行試驗,並已開始使用ASML的下一代高數值孔徑(High NA)極紫外(EUV)光刻機。該光刻機可將電路圖案轉印到晶圓上,以幫助生產其部分Panther Lake處理器。
高數值孔徑光刻設備造價約為4億美元,是標準EUV光刻機的兩倍。此外,將該設備應用於生產流程在技術上也極具挑戰性。
英特爾正在使用高數值孔徑設備對芯片的特定層進行測試,這將有助於英特爾和ASML收集數據並優化設備。
英特爾對該聲明不予置評。
該公司採用其18A製造工藝生產Panther Lake芯片,並已在使用ASML的標準EUV光刻機進行生產。