半導體設備零部件迎來重大突破!CMTX單晶硅接地環原型生產

快科技
07/20

快科技7月20日消息,韓國半導體零部件廠商CMTX成為首家直接為半導體工廠提供超大單晶硅零部件的售後供應商,完成直徑約590mm單晶硅接地環的原型生產。

CMTX是一家專注於半導體設備零部件的廠商,通過子公司CELIC開發大直徑單晶硅材料,建立了從材料生產、晶錠生長到加工、蝕刻、清洗的垂直整合製造體系。

接地環是半導體蝕刻腔體中圍繞上電極的最外層環形組件,負責穩定上電極電氣狀態、消散靜電、控制等離子體分佈,對維持晶圓良率至關重要。

傳統接地環使用多晶硅製造,但多晶硅晶粒方向不同,蝕刻不均勻,表面粗糙、顆粒生成多,而單晶硅晶體結構均勻,蝕刻特性一致,能提高良率、減少顆粒。

CMTX已完成原型生產,計劃開始客戶認證,量產時間尚未確定,將從接地環開始,逐步擴展到其他超大半導體零部件。

單晶硅零部件未來會不會全面替代多晶硅?你覺得CMTX能在這個市場站穩腳跟嗎?

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