瑞銀:中國未來十年內難開發可媲美阿斯麥頂尖 EUV 光刻設備,DUV 量產或需兩至五年

鏈捕手
09/02

ChainCatcher 消息,據彭博社報道,瑞銀集團分析師預計,未來十年內中國半導體制造能力可能難以取得足夠快的進展,從而開發出能夠真正替代阿斯麥尖端 EUV 光刻技術的方案。瑞銀分析師在報告中寫道,「他們目前所處的階段似乎與阿斯麥在 2004 年時相當」,從專利申請活動來看,尤其是在光源和激光子系統領域,中國當前技術成熟度大致相當於阿斯麥開始大規模生產 EUV 設備前 15 年的水平。

瑞銀同時預計,中國有望在未來兩到五年內具備浸沒式 DUV 光刻機的大規模量產能力。浸沒式 DUV 雖不如 EUV 先進,但仍是芯片製造不可或缺的設備。阿斯麥浸沒式 DUV 售價近 9000 萬美元,EUV 設備每台超 2 億美元。中國是阿斯麥最大市場之一,但受出口限制,阿斯麥被禁止向中國出售 EUV 設備。瑞銀指出,考慮到良率和產能差距及監管限制,中國光刻設備不太可能在境外得到應用。阿斯麥發言人對置評請求未作回應。該報道基於瑞銀分析師的預測觀點,實際進展以產業動態為準。

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